Skip to main content
فهرست مقالات

بررسی خواص ساختاری و حسگری لایه های نازک اکسید روی نسبت به دمای زیر لایه تهیه شده به روش APCVD مقاله

نویسنده:

چکیده:

در این تحقیق لایه‌های نازک اکسید روی به با استفاده از روش لایه نشانی نهشت بخار شیمیایی در اتمسفر بر روی زیرلایه‌های شیشه ای در دماهای 450 تا 550 درجه سانتیگراد به منظور کاربرد در حسگر گاز اتانول نهشته گردیدند. دیگر شرایط لایه نشانی برای تمامی نمونه‌ها ثابت بوده است که عبارتند از : زمان لایه شانی که 2 دقیقه و میزان ماده که 1/0 گرم بوده است. الگوی پراش پرتو ایکس نمونه‌ها نشان از شدت گرفتن جهتگیری (100) با افزایش دمای زیر لایه دارد. بررسی تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی نشان می‌دهد که افزایش دمای زیر لایه ابتدا سبب بزرگ شدن دانه¬ها می شوند و این افزایش از دمای زیر لایه 525 درجه‌ی سانتیگراد متوقف شده و دانه¬ها شروع به کوچک شدن می‌کنند. همچنین میزان حساسیت نمونه‌ها به ازایppm2500 از گاز اتانول در دماهای 125 تا 410 درجه سانتیگراد مورد برسی قرار گرفت و بیشترین میزان حساسیت متعلق با نمونه¬ی تهیه شده در دمای لایه نشانی 450 درجه¬ی سانتیگراد با دمای کار 345 درجه-سانتیگراد است.

کلیدواژه ها:

اتانول ، لایه نازک ، روی اکسید ، نهشت بخار شیمیای ، حسگر گازی ، دمای کار


برای مشاهده محتوای مقاله لازم است ورود پایگاه شوید. در صورتی که عضو نیستید از قسمت عضویت اقدام فرمایید.

لمشاهدة محتوی المقال یلزم الدخول إلی دخول الموقع.
إن كنت لا تقدر علی شراء الاشتراك عبرPayPal أو بطاقة VISA، الرجاء ارسال رقم هاتفك المحمول إلی مدير الموقع عبر credit@noormags.ir.

You should become a Sign in to be able to see articles.
If you fail to purchase subscription via PayPal or VISA Card, please send your mobile number to the Website Administrator via credit@noormags.ir.